无油空压机租赁在集成电路行业的应用案例分析

应用现场：中国上海某集成电路工厂

服务商：济南孚恩设备安装工程有限公司

行业特点：作为无油压缩空气的用气大户电子集成电路行业，无油压缩空气使用标准也是最高的：露点-70℃@8.5bar，无油（含油量＜0.01mg/m³），≥0.1μm颗粒需＜100pcs/m³。另外，稳定不间断供气对于设备的稳定性、对于运营团队的技术&经验要求也是极高。

案例详情：浦东新区某集成电路工厂在建成初期，配套的大宗气体工厂建设受用地手续影响，无法按时建设和供应大宗气体（主要包括CDA和N2)。此时，气体供应商找到我们，希望能够我们能够配合出具合理方案供选择。此项目由于从开始的调试气源到后期的生产供气，需求的气量呈阶梯状逐步上升，需要设备从小到大逐步增加，气量从开始1000Nm³/h 至最终15000Nm³/h ，气体品质需要达到集成电路通用标准，运行期间稳定不间断供应，需室外露天直接使用，且噪音≤60dB。接到客户需求，我们与客户经过无数次反复沟通确认，最终制定了符合要求的整体方案，获得了客户的认可。从第一台设备2018年3月份进场，至2019年11月份大部分设备撤场，最高峰时12套压缩机设备（10套空气压缩机+2套氮气压缩机）在现场连续无故障运行整16个月，经历了2个炎热的夏季和1个冬季。客户的高度认可，给了此项目中我们所有的努力和付出一个最好的奖励。

具体方案：

1）生产用CDA供气：9台集装箱式ZT250/275风冷电动式无油双螺杆空压机 + 1套柴油驱动移动式风冷无油双螺杆空压机 + 10套高温型冷干机&微热吸附式干燥机 ≈16000Nm³/h CDA ( 无油，露点 -73℃@8.5bar )

2）生产用中压氮气：1套集装箱式ZT275-N2无油氮气压缩机+1套集装箱式ZT132-N2无油氮气压缩机≈ 3200Nm³ N2（@8bar）

方案特点：

1）四季全年室外露天直接使用，稳定可靠，静音效果佳；

2）电动机连续运行供应气体，多机单独运行，柴油直驱无油机作为备机，不受水电供应影响，任何单台设备故障/检维修均不影响生产，一旦压力下降到设定值，可实现快速启动，确保压力平稳；

3）氮压机将气化后的低压（4bar）氮气充分利用，使用氮压机增压至8bar满足生产需要。